高真空PECVD设备

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生产厂商：JZPZ-400F

所在实验室：光电材料与器件实验室

存放位置：逸夫楼净化室

联系人：程新利

联系电话：登录后查看

收费标准：校外100元/小时、校内50元/小时

设备状态：

详细介绍

制备硅基薄膜，如非晶硅，氮化硅，氧化硅等。