光刻机

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生产厂商：URE-2000/25

所在实验室：光电材料与器件实验室

存放位置：逸夫楼A楼127

联系人：唐运海

联系电话：登录后查看

收费标准：校外200/片，光刻耗材及掩模版由预约用户提供、校内收费不高于校内收费的一半

设备状态：

详细介绍

紫外光刻蚀半导体微图形，最小刻蚀精度1微米。