大型科学仪器（设备）共享平台 · 师生平台
主要指标：样品最大4英寸；本底真空<6*10-5Pa；衬底加温范围：室温~300℃；膜厚在线监测；均匀性优于±5%；用于制备金属、有机薄膜等。
生产厂商：上海纳晶/VR400III
所在实验室：纳米光电材料与微结构研究中心
存放位置：逸夫楼B245
联系人：魏涛
联系电话：登录后查看
收费标准：校外400/小时、校内200/小时
设备状态：
主要指标：样品最大4英寸；本底真空<6*10-5Pa；衬底加温范围：室温~300℃；膜厚在线监测；均匀性优于±5%；用于制备金属、有机薄膜等。