紫外光刻机

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生产厂商：中科院光电所URE-2000/35

所在实验室：纳米光电材料与微结构研究中心

存放位置：逸夫楼B245

联系人：程淼

联系电话：登录后查看

收费标准：校外600/小时、校内300/小时

设备状态：

详细介绍

主要指标：曝光面积100*100mm；分辨率0.8~1μm；对准精度：±0.8μm；曝光波长365nm；最大较厚350μm；满足1μm以上图形曝光