电子束曝光机

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生产厂商：日本电子JSM-IT100型SEM+图形发生器NPGS V9.1型

所在实验室：纳米光电材料与微结构研究中心

存放位置：逸夫楼B245

联系人：胡敬

联系电话：登录后查看

收费标准：校外2000/小时、校内1000/小时

设备状态：

详细介绍

主要指标：曝光面积40mm*20mm；极限线宽：拼接场内100nm；单一场内50~100nm；图形套刻与拼接精度<20nm;电镜分辨率3nm；最大倍数30万倍，满足80nm以上图形曝光