用于导电但无磁性的金属、陶瓷等材料显微结构高分辨率表征，并且配备的能谱仪可以用于材料的成分分析。主要配置与技术参数如下：

1.样品室系统

1.1、样品室：6个接口，可接配内外置EDS。

1.2、样品台：三轴自动样品台X≥33mm（马达驱动）， Y≥33mm（马达驱动），T≥0-45°（马达驱动），R=360°，Z≥5-50mm          

1.3、样品尺寸(最大)：直径不小于30mm， 高度不小于30mm  

1.4、扫描模式：最大照片存储分辨率：5120 x 3840 pixel

2、图片存储格式：JPG、TIFF、GMP

3、自动控制功能：自动电子枪加热、自动加束流、自动加偏压、自动对比度、自动亮度、自动故障检测等。

4.1、工作距离 ： 4 -50mm

4.2、控制系统：不低于CPU P4 3.0GHz，RAM 2G，硬盘 500G，光盘刻录机，24″液晶显示屏，键盘，鼠标，样品杆、USB接口

5.1 *探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，30mm²有效面积，高韧性聚合物薄窗设计，背景纯净，无氮元素及硅元素杂散峰。

5.2 *能量分辨率：Mn Ka保证优于129eV（@计数率50,000cps）；以上探测器能量分辨率保证符合ISO 15632:2012标准。

5.3 *元素分析范围: B5～Cf98。

5.4 具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位。

5.5 能谱应用软件采用最新的AZtecOne平台，多线程设计，中英文等多语言可选择。