光刻系统


生产厂商:德国SUSS Micro-Mask MBJ4

所在实验室:固态物理与材料研究中心

存放位置:逸夫楼A-118

联系人:姜昱丞

联系电话:登录后查看

收费标准:校外150元/小时,光刻耗材及掩模版由预约用户提供,校内减半

设备状态:


详细介绍

微电路图形制备,分辨率5um