生产厂商:德国SUSS Micro-Mask MBJ4
所在实验室:固态物理与材料研究中心
存放位置:逸夫楼A-118
联系人:姜昱丞
联系电话:登录后查看
收费标准:校外150元/小时,光刻耗材及掩模版由预约用户提供,校内减半
设备状态:正常预约
微电路图形制备,分辨率5um