光盘PVD

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生产厂商：上海福宜

所在实验室：纳米光电材料与微结构研究中心

存放位置：逸夫楼B245

联系人：魏涛

联系电话：登录后查看

收费标准：1500元/小时

设备状态：

详细介绍

光盘PVD可制备5英寸大尺寸薄膜样品，采用4英寸靶材，靶材类型包括各类金属、陶瓷靶材和半导体靶材，可进行三靶共溅射。腔室可通氩气、氮气和氧气。