反应离子刻蚀机 正常预约

生产厂商：英国牛津/Plasma Pro80

所在实验室：纳米光电材料与微结构研究中心

存放位置：逸夫楼B245

联系人：魏涛

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原子力显微镜(译) 正常预约

生产厂商：瑞士Nanosurf/Core AFM

所在实验室：纳米光电材料与微结构研究中心

存放位置：逸夫楼B245

联系人：魏涛

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热阻蒸发仪 正常预约

生产厂商：上海纳晶/VR400III

所在实验室：纳米光电材料与微结构研究中心

存放位置：逸夫楼B245

联系人：魏涛

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等离子体增强化学气相沉积设备 正常预约

生产厂商：PECVD350

所在实验室：纳米光电材料与微结构研究中心

存放位置：逸夫楼B245

联系人：程淼

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紫外光刻机 正常预约

生产厂商：中科院光电所URE-2000/35

所在实验室：纳米光电材料与微结构研究中心

存放位置：逸夫楼B245

联系人：程淼

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光电传感器测试系统（含湿度控制气液配气柜、光电气综合测试腔） 正常预约

生产厂商：北京中聚高科DGL-III湿度控制的气液配气系统和CGS-MT光电气综合测试平台（含温度控制器、循环水箱等部分）

所在实验室：纳米光电材料与微结构研究中心

存放位置：逸夫楼B247室

联系人：胡敬

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